服务半导体前三企业!天得一东莞碳化硅基地废气治理方案

发布日期:2025-12-04 来源:天得一 阅读量:45

    国内半导体前三碳化硅企业东莞新基地投产!生产中产生的氨气、酸雾、VOCs 等半导体行业废气,需高效治理才能合规排放 —— 天得一量身打造 19 套废气治理系统,总处理风量达 60 万 m³/h,助力企业合规投产!

    面对外延检修车间的复杂废气,我们制定了分级净化策略,先经碱液喷淋塔中和酸性气体,再由干式过滤器拦截颗粒物,最终通过两级蜂窝活性炭深度吸附,确保有机废气彻底净化。针对清洗区产生有机和酸碱两种废气, 部署了两级蜂窝活性炭直吸达标;再采用酸洗塔+碱洗塔的组合方式做精准处理,稳定且高效;溶剂供应间和有机废液收集间,会产生低浓度的异味气体,可以采用定制化研发活性炭进行高效吸附,实现稳定达标、除臭等效果。酸、碱供应间,会产生酸性和碱性废气,就可以用高效碱洗塔和酸洗塔做中和处理。全线系统均采用 “一用一备” 设计,通过阀门就可以轻松切换,保障生产连续不间断。交付团队共同致力于验收达标,并且项目提前交付落地,实现19套系统全自动,24小时连轴转,排放指标远优于设计标准,所有的数据都能远程实时监控,大幅节约了运维人力。

    我们致力为客户提供环保与能碳智管综合解决方案,用绿色科技创造客户价值。